离子束溅射镀膜设备改造设计及指标测试数据集
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资源简介：
《离子束溅射镀膜设备改造设计及指标测试数据集》是中国电子科技集团公司第四十八研究所在研究过程中，根据项目需求对原有设备进行适应性改造设计，在这过程中产生的设计文件、仿真数据、测试数据等，包括腔体门受力仿真数据、离子束溅射靶材的束流分布仿真数据、设备指标自测试数据等。采集地点：中国电子科技集团公司第四十八研究所研发车间。
提供机构：
中国电子科技集团公司第四十八研究所
