Oxide Membranes from Bulk Micro-Machining of SrTiO3 substrates (Dataset)

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Zenodo2025-05-09 更新2026-05-26 收录

功能氧化物微加工

MEMS薄膜制备

数据链接：

https://zenodo.org/doi/10.5281/zenodo.15370552 数据链接链接失效反馈

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资源简介：

Dataset of the journal article "Oxide Membranes from Bulk Micro-Machining of SrTiO3 substrates"

提供机构：

创建时间：

2025-05-09

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