4英寸高质量AlN单晶模板衬底的批量制备数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-04-04 收录
下载链接：
https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=69cd4128f17560281a74ac9e&type=1
下载链接
链接失效反馈官方服务：
资源简介：
数据集包括解决大尺寸AlN模板衬底产业化制备过程中开裂、翘曲、晶体质量均匀性等关键问题过程中建立4英寸模板衬底产业化技术，从中收集和记录的4英寸AlN单晶模板衬底的制备过程的直径、片间厚度不均匀性、产能等关键指标，其中数据文件夹的名称为数据内容对应的测试表征名称。
提供机构：
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
