硅基MEMS射频开关性能仿真与测试数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=675f82a5195d2602b17dab9e&type=1
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资源简介：
本数据集包含对热驱动V型梁MEMS射频开关的仿真建模以及性能测试数据。建立了热驱动V型梁MEMS射频开关多物理场仿真模型，探究了触头光滑度、角度、梁厚、梁长对硅基MEMS射频开关性能的影响；对MEMS射频开关加工样件进行了SEM表征，对加工器件的厚金属膜厚度、驱动距离等性能进行测试表征。
提供机构：
清华大学
