高质量高阻Si制备研究数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-05-02 收录
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https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=69f0d98ff175603f0685dbc0&type=1
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资源简介：
本数据集主要面向高阻硅片的相关参数与性能关联性仿真及实际性能测试验证，基于微纳加工和后仿真平台产生，主要记录了高阻硅片的仿真模型及数据，以及高阻硅片性能测试数据，具体包括包括高阻硅片的仿真2D模型及数据、3D模型及数据及区熔仿真模型等模拟数据，以及高阻硅片粗糙度分布与翘曲度分布等性能测试数据。由项目承担单位华南理工大学与参与单位天津中环领先材料技术有限公司以及委托的第三方测试机构采用白光分析仪、半导体分析仪（四探针法）等仪器设备测量和采集数据，原始数据及图表包含jpg、xlsx、DCR等格式，数据体量为2.47 GB
提供机构：
天津中环领先材料技术有限公司
