新型MOCVD设备气体入射装置开发数据集

新型MOCVD设备的气体入射装置主要针对Micro-LED应用高波长均匀性、高生长效率、少预反应的需求开展研究，通过模拟仿真计算指导设计了一款既满足高波长均匀性与高生长效率的入射装置，且该入射装置在高温运行状态下的可靠性也得到的模拟仿真确认。该数据集主要采集了模拟仿真的数据，记录了采用该款入射装置在实验室取得的包含波长均匀性在内的实验数据、相关的专利以及有关指标的测试报告，数据量约为51.9MB。