硅微谐振器非线性效应频率稳定性测试数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2024-03-05 收录
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资源简介：
面向“高性能硅压力、加速度、角速度传感器前沿技术”中课题一“硅微谐振器非线性效应及调控方法”里程碑三频率稳定性的考核指标，通过基于非线性效应的频率增稳方法，开展针对非线性谐振器的闭环频率稳定性测试。
提供机构：
华中科技大学引力中心A栋S201
