2英寸AlN单晶衬底的批量化加工数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-04-04 收录
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https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=69cd4133f17560281a74acab&type=1
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资源简介：
数据集包含实现2英寸AlN晶体的批量化制备，初步建立完整的2英寸产业化工艺技术体系过程中的硬件和软件算法升级过程的数据以及2英寸AlN单晶的批量化加工过程中的各项参数包括衬底直径、衬底厚度、总厚度变化、翘曲、表面粗糙度等关键指标数据。
提供机构：
深圳大学
