双向米量级超重光栅基板涂胶装备研制数据

本数据集面向双向米量级超重矩形光栅基板涂胶装备的研制与性能验证需求，围绕装备总体设计论证、关键部件强度校核、核心性能指标测试以及大面积涂胶均匀性评价等内容开展系统化数据采集与整理，旨在为米量级超重基板旋涂装备的工程设计、制造调试与工艺验证提供数据支撑。数据采集方案分为设计与实验测试：在装备总体设计与方案论证阶段，采用静力学分析方法获取传动主轴受力与变形响应数据，完成主轴强度校核，并基于负载需求开展电机选型与传动方式设计，形成结构与驱动参数的设计依据。在装备制造与指标验证阶段，使用加速度传感器等测试设备，对旋涂装备的基板兼容尺寸、转速精度与加速度等关键性能指标进行测试与评估，获得设备动态响应与运行稳定性相关数据。针对双向米量级矩形光栅基板表面涂胶膜厚均匀性指标，采用AC2000旋涂设备开展涂胶实验，在不小于1580 mm×1030 mm的有效区域内进行膜厚测试与不均匀性计算，并通过第三方计量机构实施测试与视频记录，实现涂胶均匀性优于±3%。本数据集可用于装备设计参数优化、性能对标验证及大口径光栅制造工艺评估，具有明确的工程复用价值。本数据集的数据量为339 MB。