8英寸MEMS传感器加工中试平台五种关键高均一功能薄膜数据集

MEMS传感器的关键性能参数如品质因子、机电耦合系数、插损、带宽、频率稳定性等都和薄膜的成膜质量及膜厚均一度高度相关。本数据集含有8英寸MEMS传感器中五种关键功能薄膜的均一度具体数据参数，包括AlScN薄膜、VOx薄膜、PI薄膜、多晶硅薄膜和PZT薄膜。时间范围为2021年–2024年，是在英格尔检测技术服务（上海）有限公司现场监督下，依据测试大纲在上海新微技术研发中心有限公司八寸线洁净室测试所得。采用专业仪器与软件对数据进行测试和处理，最终获得了项目指标要求范围内AlScN薄膜的均一度测试数据；Vox薄膜均一度数据与拟合图；PI薄膜的均一度具体测试数据；多晶硅薄膜的均一度具体测试数据；PZT薄膜的均一度具体测试数据和扫描电子显微镜（SEM）图像。本数据集含有8英寸MEMS传感器中五种关键功能薄膜的均一度具体数据参数，为MEMS传感器关键功能薄膜的制造工艺优化、性能表征等方面有着重要的指导意义。