碳化硅膜规模化制备与成套装备技术及应用示范数据集

本数据集主要面向高温气固分离碳化硅膜工程放大与工业示范应用需求建设，来源于项目课题二在山东工业陶瓷研究设计院有限公司、山东东岳氟硅材料有限公司等单位开展的碳化硅膜规模化制备、成套装备开发和示范装置运行考核工作。数据通过生产线统计核算、在线监测系统及第三方检测获得，主要记录碳化硅膜生产能力核算结果、高温气固分离示范装置运行温度、系统压差、连续运行时长、粉尘脱除率等关键参数，并包含现场验收报告、第三方检测报告、研究报告及相关论文、专利等支撑材料，预估数据量约204.5 MB。