回转类零件测量时轴心对准方法

一种光栅位移测量装置，其特征在于，包括转向干涉测量读数头和信号处理系统，所述转向干涉测量读数头包括光源、光学结构、两组分束结构和光电接收模块，其中；所述光源用于发出线偏振光，所述线偏振光经准直后出射到所述光学结构；所述光学结构用于将所述线偏振光垂直入射到测量光栅的表面，以及将衍射后产生携带测量信息的±1级衍射光入射至两组分束结构；两组分束结构用于分别对±1级衍射光进行分束，产生相位为0°、90°、180°、270°的四路干涉信号；所述光电接收模块用于接收四路干涉信号，在光电转换后传输到所述信号处理系统；所述信号处理系统用于对四路干涉信号进行相移计算，得到所述测量光栅的位移量。