基于热蒸发制备的大面积层间互连设计数据集

本项目主要开发了一种热蒸发工艺制备层间互连器件的技术，主要记录了样品的光学显微照片、拉曼光谱和扫描透射电子显微镜表征等实验结果。数据量约为5.5MB。