谐波减速器大曲率结构表面薄膜传感元件设计与制造数据

本数据集是基于课题一“薄膜应变传感器在减速器上的原位集成工艺、设计制造及可靠性技术”研究内容所产生的康铜薄膜应变计与AgNPs导电膜在大曲率表面的制造、性能测试与工艺优化过程中形成的实验数据资源，对应指标为指标1.1灵敏度因子、指标1.2TCR（电阻温度系数）、指标1.3线宽@曲率半径62.5 μm基底、指标1.4敏感结构厚度、指标1.5最大量程。本数据涵盖了从康铜薄膜应变计设计制造，到AgNPs导电膜沉积成形与厚度测量，再到不同结构传感器应变性能测试的完整实验流程。该批数据采集与测试均在福建省厦门市翔安区厦门大学翔安校区完成，采集时间涵盖2023年至2024年多个时间段。测试与表征设备包括数据采集仪（Keysight DAQ970）、数据采集卡（Keysight DAQM901A）、位移施加装置（自主搭建）、温湿度交变试验箱（QTH-100C）、台阶膜厚仪（Dektak XT-A）、电流体动力喷印设备（自主搭建）等，可满足应变、温度、电学及形貌等多维度参数的精确测量需求。