基于AOI外观检测的固晶精度检测及影响因素
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
固晶精度是芯片转移以后偏离目标位置的距离，通常基于3Σ计数，常用单位μm@3Σ。固晶精度测试方法：通过AOI外观检测机的视觉测试，拍照所有测试芯片位姿，通过视觉算法分析，对测试芯片位姿的偏差进行计算检测，经第三方深圳市天海检测技术有限公司检测，得到检测报告中转移芯片定位精度<10μm@3∑。
提供机构：
武汉大学
