芯片微加工工艺表征数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
芯片微加工工艺表征数据集主要面向DNA合成芯片的微纳加工工艺研究，通过对所加工出的芯片结构、材料组成等进行显微成像、能谱测量等测试，记录下芯片的结构、各部分材料的加工结果，通过结构的观察、量测以及对元素能谱结果的分析，来评估本项目中面向DNA数据存储的微阵列芯片微纳加工工艺的可行性以及所加工芯片的质量。数据量约47MB。
提供机构：
上海新微技术研发中心有限公司
搜集汇总
数据集介绍
背景与挑战
背景概述
该数据集聚焦于DNA合成芯片的微纳加工工艺研究，通过显微成像和能谱测量等方法记录芯片结构与材料组成，旨在评估微阵列芯片加工工艺的可行性与质量。数据量约为47MB，包含34个文件。
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