高精度超光滑X射线非球面准直镜面形精度数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2025-12-27 收录
下载链接：
https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=694c0e1f195d261fbbe14def&type=1
下载链接
链接失效反馈官方服务：
资源简介：
使用子孔径拼接干涉测量方法测量准直镜二维面形。将准直镜的全部口径范围划分为相互重叠的子孔径区域，采用一维位移台和二维角度台组合调整待测镜的位置和姿态，使用激光干涉仪测量子孔径面形，通过拼接算法获得待测镜的全口径二维形貌以及面形精度。数据集约为61.1MB。
提供机构：
同济大学
