高精度超光滑X射线非球面准直镜面形精度数据

使用子孔径拼接干涉测量方法测量准直镜二维面形。将准直镜的全部口径范围划分为相互重叠的子孔径区域，采用一维位移台和二维角度台组合调整待测镜的位置和姿态，使用激光干涉仪测量子孔径面形，通过拼接算法获得待测镜的全口径二维形貌以及面形精度。数据集约为61.1MB。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集通过子孔径拼接干涉测量方法，利用激光干涉仪测量X射线非球面准直镜的子孔径面形，并通过拼接算法获得全口径二维形貌及面形精度数据。数据集总大小约61.1MB，包含mat、txt、dat、png和docx等多种格式文件。