紫外器件的外延生长、结构设计和芯片工艺
收藏国家基础学科公共科学数据中心2024-03-05 收录
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资源简介：
紫外器件的外延生长、结构设计和芯片工艺数据集主要面向紫外激光器研究，提高紫外激光器性能建设，基于XRD测试，AFM测试，光谱仪，源表，光功率计产生数据。X射线衍射可以分析器件结构和外延晶体的质量，AFM测试结果能直观的反应晶体的表面形貌，光功率计，源表，光谱仪搭配测得的p-i-v曲线可以反映出激光器的性能。数据量约为261MB。
提供机构：
中国科学院半导体研究所
搜集汇总
数据集介绍
背景与挑战
背景概述
该数据集聚焦于紫外激光器的研究，旨在提升器件性能，通过XRD、AFM、光谱仪等测试方法生成数据，用于分析外延晶体质量、表面形貌及激光器特性。数据集包含32个文件，总容量约为261MB，由中国科学院半导体研究所的梁锋于2022年发布。
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