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纳米压印技术实现图案化基板制造数据

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国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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数据实体文件(文件夹)包括四个子文件夹,其内容分别为: 敏感材料制备及表征的数据包含敏感材料的核磁、单晶等理化性质表征数据及电化学性质的表征。 外电场的作用下聚合物在模板腔体内的流变填充过程数据包含电润湿辅助填充的流体力学模型图,电润湿辅助填充的流变成形过程仿真图,聚合物在模板腔体内的动态填充图。 电驱动压印得到的亚微米尺度的大深宽比聚合物基板的数据主要包含纳米压印制备的聚合物基板的SEM图及实物图。 大面积卷对卷压印设备及工艺研究数据主要包含大面积卷对卷压印设备设计原理图,大面积卷对卷压印设备实物照片,压印获得的大面积聚合物基板SEM图及实物图。
提供机构:
华中科技大学
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