Si/SiO2多层膜线宽标准物质测试数据集

Si/SiO2多层膜线宽国家标准物质数据集是对由同济大学和中国计量科学研究院研制的Si/SiO2多层膜线宽国家标准物质的线宽计量定值的数据，该数据集的完成受到了重点项目“纳米产业技术标准的共性关键科学问题研究”的支持，项目编号为2016YFA0200900。该数据集主要包含名义线宽值分别为40nm、80nm、160nm的Si/SiO2多层膜线宽国家标准物质线宽值的均匀性测试数据，半年期稳定性数据，计量定值数据。