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锑基硫属化合物薄膜膜厚数据

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国家基础学科公共科学数据中心2024-03-05 收录
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https://www.nbsdc.cn/general/dataDetail?id=64edc927bb16e07753c3590e&type=1
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资源简介:
锑基硫属化合物薄膜膜厚数据主要面向大面积锑基硫属化合物均匀性研究,基于第三方(中国计量科学研究院)测试数据产生,主要测试了边缘及中心共均匀分布的9个点作为采样点,采用机械划刻的方式进行膜厚台阶的获得,参照GB/T 1958-2017产品几何技术规范(GPS)几何公差标准检测与验证。均匀性按式(max-min)/(max+min)∙100%计算。数据量0.86MB
提供机构:
河北大学
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