SOI平台大带宽光纤-芯片端面耦合器-原始数据

硅基光子滤波系统的耦合输入是所有光源接入的接口，好小的耦合结构对于光芯片的功率预算意义重大。研究了光纤到硅基光子滤波器的耦合。主要记录光谱图，功率等。是研究光纤到硅基光子滤波器的耦合并研究了硅基耦合器工作。主要基于实验室研究常用微纳制造工艺进行芯片制作，如电子束光刻、ICP刻蚀、电子束蒸发等。利用扫谱激光器、光电探测器、光谱仪进行数据采集进行数据采集,同时采用Ansys Lumerical软件对器件进行仿真分析，利用matlab软件对采集数据做图获得论文中的相关实验结果图片。数据量18MB。