粗糙固晶界面力学响应的仿真数据

采用分子动力学方法对纳米级粗糙度晶圆工件进行了刺晶分析，建立了纳米级粗糙度晶圆工件刺晶的分子动力学模型。通过分子动力学模拟探讨了硅晶圆的刺晶过程，分析了不同均方根粗糙度和刺晶深度对表面形貌、原子结构、热力学和力学特性的影响。结果表明，粗糙度和刺晶深度的增加导致非晶层增厚、应力升高和温度上升，反映出更强的摩擦、变形和热效应。随着粗糙度增大，表面损伤加剧，切削和耕作现象更为明显。研究揭示了刺晶过程中原子运动、能量变化及力学响应的内在机理。