2017YFB1104300-012-微器件数据库
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
微器件数据库主要是利用超快激光直写的方法，通过控制超快激光参数，调控初始原材料种类，实现图案化微电极的制备，包含微器件尺寸、微器件线宽范围、微电极线宽、微电极结构形变量等数据项。所有微器件数据项均采用第三方检测机构进行质量控制
提供机构：
清华大学；华中科技大学
