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2017YFB1104300-012-微器件数据库

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微器件数据库主要是利用超快激光直写的方法,通过控制超快激光参数,调控初始原材料种类,实现图案化微电极的制备,包含微器件尺寸、微器件线宽范围、微电极线宽、微电极结构形变量等数据项。所有微器件数据项均采用第三方检测机构进行质量控制

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