AlN品质因数数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
本数据集主要为国家重点研发计划超高品质因子光子集成芯片（2021YFB2801200）有关AlN品质因数的数据。
本数据集基于实验室工艺加工的氮化铝芯片。数据集包含AlN品质因数的测试记录测试AlN芯片的照片和Q值测量结果。数据集主要是面向高品质因子微腔建设，高品质因子氮化铝微腔在非线性光学中有普遍的应用。数据量约45.9MB。
提供机构：
清华大学
