针对MEMS器件的工艺中需要定制化工艺的比例数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=686a8dad195d2621a90dbf79&type=1
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资源简介：
本数据集包含了麦克风、惯性器件、压力传感器三个类别产品的定制化比例，从关键层设计、工艺流程简介等介绍三类产品，选取代表的产品进行定制化比例的分析，得出定制化的比例。类型是文件，共3件。文件采集地点为浙江省绍兴市，采集时间2021年12月至2024年11月，数据来源于芯联集成电路制造股份有限公司的生产线上。数据量2.23MB。
提供机构：
芯联集成电路制造股份有限公司
