一种基于误差分离的轴承内外圈跳动测量方法和装置

一种外差光栅位移测量方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、通过光源产生两束重合、偏振正交且具有固定频差的偏振光，分别为S偏振态的第一偏振光和P偏振态的第二偏振光，所述第一偏振光的频率为fA，所述第二偏振光的频率为fB；S2、所述第一偏振光和第二偏振光分别进入读数头，经所述读数头转折后分别入射到测量光栅的表面产生分别包括第一偏振光分量与第二偏振光分量的+1级衍射光和-1级衍射光，+1级衍射光和-1级衍射光再经所述读数头分别入射到光电接收模块；S3、通过所述光电接收模块接收所述+1级衍射光和所述-1级衍射光；其中，-1级衍射光的第二偏振光分量与+1级衍射光的第一偏振光分量干涉形成频率为fB-fA的拍频信号，-1级衍射光的第一偏振光分量与+1级衍射光的第二偏振光分量干涉形成频率为fB-fA的拍频信号；S4、通过所述信号处理系统分别对两路拍频信号进行差分计算，实现所述测量光栅单次衍射4倍光学细分的位移测量。