高性能车规级MEMS惯性传感器设计开发数据集

本数据集数据来源于国家重点研发计划项目“汽车级高精度组合导航传感器系统开发及应用”（项目编号：2021YFB3202300）。立足于目前导航定位传感器不能满足汽车自动驾驶高精度、低成本、高可靠和批量化的应用需求，开展高性能车规级MEMS惯性传感器设计开发研究，以提供更安全、更节能、更高效、更舒适的出行体验，是未来汽车产业的发展方向。研究内容主要包括高性能多轴 MEMS 惯性传感器芯片设计制造、高可靠低噪声 ASIC 电路设计、超小型惯性器件封装与测试等内容，通过理论设计、模拟仿真和实验验证相结合的研究方法，最终研制出满足汽车自动驾驶需求的高精度低成本车规级惯性传感器，形成惯性导航传感器设计、开发、制造、封装和测试的能力，解决自动驾驶汽车用核心惯性芯片严重依赖进口的问题，实现汽车级高精度组合导航传感器系统核心技术的自主可控，数据集中主要记录了高性能车规级MEMS惯性传感器研制过程中的性能指标参数变化量，以及相关设计开发工艺步骤及方法，数据量为55MB。