ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЕ И КИНЕТИЧЕСКИЕ АСПЕКТЫ ОБРАЗОВАНИЯ СИЛИЦИДОВ МАРГАНЦА НА КРЕМНИИ МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ
收藏官方服务：
资源简介：
В статье рассмотрены энергетические и кинетические особенности формирования силицидов марганца на кремнии при ионной имплантации с низкой дозой порядка ионов/см². Проведен анализ влияния дозы, энергии и температуры термообработки на фазовый состав и морфологию образуемых силицидных структур. Показано, что низкие дозы приводят к формированию нанокластеров и островковых структур, что существенно влияет на кинетику фазовых превращений и механизмы роста силицидов. Результаты исследования важны для разработки технологий формирования ультратонких силицидных слоев в микроэлектронике, где требуется высокая степень контроля над структурой и свойствами контактов.
提供机构：
Zenodo创建时间：
2026-03-13
