碎片样品的平面扩展方法以及平面扩展的碎片样品

本发明公开了一种碎片样品的平面扩展方
法以及平面扩展的碎片样品。其中，该方法包括：
获取第一平面衬底和第二平面衬底，其中，第一
平面衬底和第二平面衬底均为表面光滑且尺寸
大于所述碎片样品的尺寸的平面衬底；将碎片样
品放置于第一平面衬底上；获取夹具，夹具具有
中空设置，中空设置用于容置碎片样品；将夹具
压置于第一平面衬底上，且夹具的中空设置套置
于碎片衬底上；在夹具的中空设置处涂敷填充
物；将第二平面衬底压置于夹具上；剥离第一平
面衬底和第二平面衬底，得到平面扩展后的碎片
样品。该方法实现简单，提高了匀胶工艺中小尺
寸碎片样品特别是小尺寸样品边缘光刻胶的均
匀性，并使得碎片样品兼容现有晶圆加工设备，
降低了加工成本。