基于国产设备的 6~8 英寸碳化硅外延片材料测试数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
下载链接：
https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=67d50eaf195d260905af9962&type=1
下载链接
链接失效反馈官方服务：
资源简介：
本数据集主要涉及6寸SiC外延材料生长研究，包括材料开发过程中的生长设备配置需求、测试设备配置需求、MOCVD生长模式及均匀性、缺表面缺陷密度等调试结果、外延测试表征结果等数据。按照项目指标形成1个数据集文件夹，数据集大小为3.41M。
提供机构：
厦门市三安集成电路有限公司
