铌酸锂薄膜波导第三方测试数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2024-03-05 收录
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资源简介：
本数据集主要面向铌酸锂波导制备研究，对应项目任务书指标2.1、指标2.2。采用六维精密耦合位移台、光功率计、扫描电子显微镜等仪器，记录了铌酸锂波导损耗和侧壁垂直度的测试值，文件夹总大小8.1M。
提供机构：
国家基础学科公共科学数据中心
搜集汇总
数据集介绍
背景与挑战
背景概述
该数据集聚焦于铌酸锂波导制备研究，通过六维精密耦合位移台、光功率计等仪器，记录了波导损耗和侧壁垂直度的测试数据，对应项目任务书相关指标。数据集包含5个文件，总大小为8.15MB，由中国科学院基础学科公共科学数据中心发布。
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