物理气相输运法中低杂质含量AlN源粉的制备数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-04-04 收录
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https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=69cd4138f17560281a74acbd&type=1
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资源简介：
数据集包含建立大尺寸热场条件下多孔介质多项流物质传输理论模型过程中的模拟仿真数据以及传质动力学仿真有限元模块数以及AlN源粉的制备过程包括C含量、O含量等关键指标。
提供机构：
奥趋光电技术（杭州）有限公司
