硅纳米带中的光热电效应器件特性数据集

使用COMSOL仿真的，以及使用热蒸发、电子束曝光、紫外光刻、反应离子刻蚀等工艺制备的硅纳米带光热电效应探测器，采用实验室搭建的光电表征平台测量的硅纳米带的光热电效应导致的光电响应的数据，数据量约40.7 MB。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集包含硅纳米带光热电效应探测器的光电响应数据，通过COMSOL仿真及热蒸发、电子束曝光等工艺制备，并利用实验室光电表征平台测量得出。数据量约为40.7 MB，共107个文件，由武汉大学在相关国家重点研发计划项目下创建。