8英寸光学传感器成套工艺关键步骤工艺参数数据集

MEMS光学传感器是将微光学技术与MEMS技术结合的微系统技术。它将各种MEMS结构与微光学器件完整地集成在一起，形成一种全新的功能器件或系统。与普通光学器件相比，MEMS光学传感器具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、易于集成和批量生产等优点。本数据集含有8英寸MEMS光学传感器成套工艺关键步骤工艺参数如静电梳齿宽度、镜面反射率、TSV衬底厚度与深宽比、传感器良率以及小批量生产能力等核心参数，时间范围为2021年–2024年，是在英格尔检测技术服务（上海）有限公司现场监督下，依据测试大纲在上海新微技术研发中心有限公司八寸线洁净室测试所得。采用专业仪器与软件对数据进行测试和处理，最终获得了项目指标要求范围内静电梳齿宽度与键合层数的SEM图；TSV衬底厚度与深宽比的SEM图。本数据集为8英寸MEMS光学传感器定制化核心结构参数，为MEMS光学传感器制造工艺优化、性能表征等方面有着重要的指导意义。