碳化硅陶瓷运动工件台应用数据集

该数据集面向国产面板光刻机运动系统的应用验证需求，依托国家重点研发计划（2021YFB3704300），于2023-2025年间在上海微电子装备（集团）股份有限公司等单位，通过搭载碳化硅陶瓷运动工件台于光刻机工件台分系统，开展系统性长周期应用考核。数据涵盖总重量、产品数量、分辨率、运动速度、稳定时间、定位重复精度等关键指标，采集方法包括高精度称重、激光干涉测速、动态信号分析及曝光显影分辨率测试等。数据集格式包括pdf、jpg、mp4，旨在为高端光刻装备运动系统的轻量化、高速化与高精度化提供可靠的技术验证与部件支撑。