DFT模拟计算与缺陷能级分析数据集

该数据集以不同缺陷构型的 In2O3 超胞模型为研究对象，系统计算了本征缺陷及氟相关缺陷在不同电荷态下的电子态密度、缺陷形成能、费米能级依赖关系以及缺陷电荷态转变过程。数据集涵盖总态密度（DOS）、分态密度（PDOS）、缺陷形成能随费米能级变化曲线、构型坐标图以及缺陷迁移示意图，全面反映了氟掺杂对缺陷能级分布和电子结构演化的影响。所有计算结果均在统一的计算参数和模型设置下获得，并以图像文件和可再分析的数据文件形式保存，具有良好的可追溯性和复用价值。该数据集可为实验结果解读、缺陷调控机理分析以及氧化物半导体稳定性建模提供重要理论支撑。