充油封装设备数据

为实现压力传感器核心的耐过载与介质隔离保护，自主研制了一套专用于压力传感器的充油封装系统，并配套开发了相应的多级抽真空充油工艺，该工艺抑制了因介质污染所导致的传感器温漂问题，确保了充油封装结构在宽温度范围内的长期测量精度与可靠性从而奠定了传感器高稳定性和高可靠性的制造基础。利用真空计对充油封装设备的真空度进行检测，在进行除气室真空度检测时，首先将真空计安装到除气室法兰上，密闭除气室注油通道与滴油通道，打开真空抽取设备，观测真空计数值，半小时记录一次数据，实验时长为8小时；在进行除气室真空度检测时，首先将真空计安装到除气室法兰上，密闭除气室注油通道与滴油通道，打开真空抽取设备，观测真空计数值，半小时记录一次数据，实验时长为8小时。容量为5.03MB。