一种氮化硅陶瓷包封用氧氮玻璃及其制备
收藏中国科学院兰州化学物理研究所科学数据中心2023-05-22 更新2024-04-26 收录
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本发明涉及一种氮化硅陶瓷包封用氧氮玻璃及其制备方法和应用。所述氧氮玻璃的组成包含Y2O3‑Al2O3‑SiO2‑AlN；其中Y2O3的含量为36 .6～43 .7wt％，Al2O3的含量为24 .8～29 .6wt％，SiO2的含量为17 .7～22 .1wt％，AlN的含量为4 .6～20 .9wt％。
提供机构：
中国科学院兰州化学物理研究所科学数据中心
创建时间：
2023-05-22
