薄膜铌酸锂表面RMS数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
本数据集主要围绕薄膜铌酸锂表面RMS测试展开，采集包括表面粗糙度扫描数据，以及RMS计算结果。数据采用原子力显微镜采集。质量控制措施包括多次实验验证、仪器校准、数据偏差分析等，以确保数据准确性和可靠性。数据集可用于优化薄膜铌酸锂制备工艺，改善表面质量，支持硅基异质集成光电子器件开发，并为相关光通信模块提供基础数据。
提供机构：
华中科技大学
