MMI-MZI级联型1×8热光开关模拟及验证数据集

围绕国家信息领域中高端光电子芯片与器件国产化等国家战略性需求，开展光开关的研究，一个二氧化硅波导 1 × 8 热光开关，由级联三级马赫-曾德尔干涉仪组成（MZIs） 进行演示。MMI-MZI 1 × 2 开关单元采用多模干扰 （MMI） 耦合器由于其对波长不敏感和良好的制造耐受性。光束传播方法 （BPM） 为用于开关设计和优化。在准备过程中采用了标准 CMOS 技术的开关结构。在 1550 nm 处，1 × 8 开关的测量结果表明，光纤到光纤的插入损耗对于所有路由状态，范围为 3.4 到 3.6 dB。同时，消光比不小于 15.63 dB，并且串扰被限制在低于 − 15.65 dB 的范围内。由于采用马赫-曾德尔调制器结构，平均驱动功率通道切换为 315.8 mW。在 1500 至 1620 nm 的波长范围内，消光比大于 15.06 dB，插入损耗小于 5.8 dB，并且所有路由状态的 PDL 都小于 1.18 dB。实验结果与仿真结果吻合较好，证明了所提出的开关在宽带下具有良好的电位应用。