多通道MMI型1×8热光开关模拟及验证数据集

围绕国家信息领域中高端光电子芯片与器件国产化等国家战略性需求，开展光开关的研究，光开关在信号交叉和互连中起着关键作用。低损耗和紧凑型光开关是片上光路由要求很高。基于级联 1 的二氧化硅波导 1 × 8 热光开关实验演示了 8 × 多模干扰 （MMI） 和 8 × 8 MMI 耦合器。光束传播方法进行理论设计和优化。采用标准 CMOS 技术制造开关准备。引入空气沟槽以增强热调制。在波长 1550 nm 处，测得的 1 × 8 开关的插入损耗和串扰分别小于 3.69 dB 和 − 16.29 dB。和所有 routing state 的消光比都大于 16.68 dB。上升时间和下降时间为 1.0 ms 和 1.24ms 的与基于级联级结构的 8 通道开关相比，尺寸减小了 30%.随着未来带宽的提高，这款已展示的交换机在全光网络路由应用中具有良好的潜力。