实现原位气/液环境TEM检测工具

本数据集主要由原位透射电镜实验的电学信号和图像组成，用于研究低温下器件的量子电学输运特性。数据主要由半导体分析仪，电学源表，TEMCCD等仪器提供。数据集主要包含电流随时间信号，液体中过程视频等。以纳米尺度的气/液环境反应为实验对象，用自主设计的薄膜厚度≤100nm，窗口尺寸≥300μm并载有相应电极图案的MEMS芯片，利用透射电子显微镜，实时观察了在电子束辐照下纳米材料在气/液环境中的变化，对相应体系的动力学行为进行了分析。