硅基MEMS惯性开关性能仿真与测试数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=675f82a5195d2602b17daba0&type=1
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资源简介：
本数据集包含对硅基MEMS惯性开关的仿真建模以及性能测试数据。建立了硅基MEMS惯性开关多物理场仿真模型，并进一步地探究了高g值硅基MEMS惯性开关的阈值、动态响应曲线以及振型进行了多物理场仿真；对硅基MEMS惯性开关加工器件的金属膜厚度、以铜和镍为结构金属的层间结合力以及阈值等性能进行测试表征。
提供机构：
清华大学
