大幅面结构光场位移传感的光场畸变分析及拼接测试数据集

本数据集是中国科学院微电子研究所邀请第三方对大幅面结构光场位移传感的光场畸变分析及拼接测试数据，包括研究过程的畸变仿真数据，拼接测量实验数据和拼接后大幅面传感器原型测试数据。数据集内容：包含结构光场的设计与畸变模型、光栅结构与入射光束相互作用仿真数据，光栅纳米精度拼接数据，线位移传感器实验原型（量程200mm）的测试数据。计算方式：针对结构光场畸变集与光栅结构的耦合作用，通过计算机仿真（MATLAB、FDTD），产生相应的模型仿真数据；针对拼接误差进行分析，通过纳米位移平台及光学干涉仪，产生实验数据；针对线位移传感器实验原型（量程200mm）的性能表征，通过第三方测试，获取实验数据。