二维准金属-半导体异质结接触机理研究--基于研制FIB设备AeroScan DUO 300的二维材料透射电镜截面样品制备方法数据

本数据集主要描述在历经广泛的实验尝试与工艺探索之后，成功运用AeroScan DUO 300 双束显微镜完成了MoSe2、WSe2、WS2 等多种二维材料及二维异质结材料透射电镜截面样品的制备，并利用球差校正透射电镜对其精细结构进行了表征。基于这一过程，建立了一套完善的二维材料透射电镜截面样品制备工艺流程。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集聚焦于二维准金属-半导体异质结接触机理研究，通过利用AeroScan DUO 300双束显微镜制备了MoSe2、WSe2、WS2等多种二维材料及异质结的透射电镜截面样品，并对其精细结构进行了表征。基于此过程，建立了一套完善的二维材料透射电镜截面样品制备工艺流程。