低功耗集成复杂气体传感系统数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-24 收录
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资源简介：
有机薄膜荧光传感器（OTFS）凭借其高灵敏度和快速响应特性，已成为检测微量化学蒸气（如违禁药物、爆炸物、神经毒剂及其他危险物质）的高效工具。然而，当前多数器件结构依赖空间光学技术，这使其难以与互补金属氧化物半导体（CMOS）技术集成，从而阻碍了芯片级应用的实现。另一方面，基于氮化硅波导的光子学技术近期展现出开发商用级全集成芯片气体传感器的巨大潜力。本研究首次在集成光子平台上实现了基于波导衰减场荧光传感的化学气体检测器。通过同一波导实现激发与收集的同步操作，我们分别实现了甲基苯丙胺和苯胺14 ppb与275 ppb的检测限。得益于与CMOS制造工艺的良好兼容性，该片上光学传感器既可实现量产规模化，又能轻松集成至可穿戴电子设备，满足便携式快速检测需求。本研究提出的技术路线为紧凑型、低成本荧光气体传感器的开发提供了极具前景的解决方案
提供机构：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
