高频振动传感器芯片设计仿真数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-05-16 收录
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资源简介：
高频振动传感器芯片设计仿真数据主要面向高频振动传感器研究，基于有限元仿真软件COMSOL仿真分析产生，记录了高频振动传感器敏感结构设计与参数优化过程中产生的仿真数据，涵盖振动传感器芯片模态仿真数据、静力学仿真数据、抗过载能力仿真数据、不同温度下传感器输出仿真数据。
提供机构：
西安交通大学
